Abstandsverfahren

сущ.

1) электр. метод фотолитографии на микрозазоре

2) микроэл. бесконтактный метод, метод бесконтактного экспонирования, метод бесконтактной фотолитографии, метод фотолитографии с микрозазором, метод экспонирования на микрозазоре